Станкоинструмент #3/2023
Д. И. Волотов, А. Р. Маслов
Модульное устройство для измерения технических параметров технологической оснастки
DOI: 10.22184/2499-9407.2023.32.3.68.72 Представлено описание измерительного устройства для прямого измерения физических величин, характеризующих основные свойства станочных приспособлений. Описано использование метода измерения, при котором значение искомой величины определяется непосредственно по показывающему средству измерений. Устройство переналаживается путем смены входящих в комплект модулей.
Наноиндустрия #5/2020
Д.Г.Мустафаева
Анализ и исследование материаловедческих и технологических факторов при создании пленочных преобразователей
DOI: 10.22184/1993-8578.2020.13.5.304.307 Проведены анализ и исследование материаловедческих и технологических факторов при создании пленочных преобразователей, определены требования к материалам и их свойствам, технологии формирования элементов преобразователя. Показано, что учет материаловедческих и технологических факторов обеспечивает соответствие параметров изделия требуемым, устойчивость к внешним факторам, получение пленок исходного состава и стабильность технологии производства.
Наноиндустрия #2/2020
М.Г.Мустафаев, Д.Г.Мустафаева, Г.А.Мустафаев
Формирование контактно-металлизационных систем с улучшенными технологическими параметрами
DOI: 10.22184/1993-8578.2020.13.2.122.125 Показаны технологические подходы, улучшающие адгезию металлизации, уменьшающие структурные напряжения в пленке при осаждении и электромиграцию при формировании контактно-металлизационных систем элементов ИЭ.
Наноиндустрия #2/2020
М.Г.Мустафаев, Д.Г.Мустафаева, Г.А.Мустафаев
Элементно-технологическая и конструктивная интеграции при создании микроэлектронных приборных структур
DOI: 10.22184/1993-8578.2020.13.2.108.112 При изготовлении микроэлектронных приборных структур (МПС) с субмикронными размерами усиливается связь между их параметрами и технологией изготовления. Физико-технологическое моделирование позволяет прогнозировать характеристики МПС и устанавливать корреляции технологических и электрических параметров элементов, оптимально их проектировать.
Наноиндустрия #5/2019
М.Г.Мустафаев, Д.Г.Мустафаева, Г.А.Мустафаев
Воспроизводимость и стабильность технологии и параметров структур микроэлектронных приборов
DOI: 10.22184/1993-8578.2019.12.5.256.259 Рассмотрены технологические подходы, обеспечивающие достижение заданного уровня точности и стабильности технологических операций, формирование приборных структур с заданными параметрами и приборов на их основе.
Станкоинструмент #1/2017
А. Борисов, А. Маслов
Контроль шероховатости поверхности деталей методом виброакустического диагностирования
Приведены результаты экспериментальной проверки возможности контроля параметров шероховатости обрабатываемой поверхности методами виброакустического диагностирования.