Станкоинструмент #1/2023
С. А. Ерёмин, Е. А. Митрофанов, О. Ю. Кудряшов, В. Н. Аникин, А. М. Колесникова, В. В. Левина, А. И. Лукашин
Исследование влияния параметров процесса ионно-лучевого осаждения на структуру и состав алмазоподобных пленок
DOI: 10.22184/2499-9407.2023.30.1.48.51 В работе проводили исследование по влиянию параметров ионно-лучевого осаждения, а также состава прекурсора на структуру образующейся углеродной пленки.