Станкоинструмент #3/2023
Т. О. Сошина
Инструментальные покрытия на основе TiAlN, полученные среднечастотным импульсным магнетронным распылением
DOI: 10.22184/2499-9407.2023.32.3.44.51 Рассмотрено влияние частоты импульсов в процессе импульсного магнетронного распыления покрытия TiAlN на изменения фазового и элементного составов покрытий, их микроструктуры, шероховатости поверхности и физико-механических свойств. Установлено оптимальное значение частоты импульсов, при котором формируется покрытие на основе высокодисперсной износостойкой фазы h-Ti3Al2N2 с плотной нанокристаллической структурой, минимальной шероховатостью поверхности, высокими значениями микротвердости и упругого восстановления.